短语词组短语Wafer Unit Probe 晶圆筛选检测Wafer Parametric Probe 晶圆参数检测Wafer Probe Test 测试Wafer Probe Card 晶圆探针卡Wafer Probe Station 探针台;晶圆探针台Flex dot wafer probe 发明名称on -wafer probe 在片测试探头 返回 wafer probe